Prozeßsimulation des PVD MSIP Verfahrens

Lugscheider, Erich; Barimani, Cyrus; Eckert, P.

Aachen : Mainz (1997)
Contribution to a book

In: Neue Entwicklungstrends in der Oberflächen- und Fügetechnik
Page(s)/Article-Nr.: 75-83

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