Prozessfensterentwicklung zur Herstellung von dotiertem Al2O3 mittels HS-PVD-Technologie

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kalscheuer, Christian; Welters, Martin (Corresponding author)

Aachen : Shaker Verlag (2016)
Contribution to a book, Contribution to a conference proceedings, Poster

In: 11. Aachener Oberflächentechnik-Kolloquium 2016 / Kirsten Bobzin (Hrsg.)
Page(s)/Article-Nr.: 87-87