Einfluss von Plasmaeigenschaften auf Schichteigenschaften in Hochleistungsplasmen

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Engels, Martin Gottfried (Corresponding author)

Aachen : Shaker Verlag (2016)
Contribution to a book, Contribution to a conference proceedings, Poster

In: 11. Aachener Oberflächentechnik-Kolloquium 2016 / Kirsten Bobzin (Hrsg.)
Page(s)/Article-Nr.: 92-92

Institutions

• Chair of Surface Engineering [419010]