Machine learning based model for plasma prediction in high power pulsed magnetron sputtering processes

Bobzin, Kirsten; Kalscheuer, Christian; Carlet, Marco; Janowitz, Julia (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2023)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 777
Seite(n)/Artikel-Nr.: 139903, 8 Seiten

Einrichtungen

• Internet of Production [080067]
• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]