Prediction of OES intensity ratios based on coating unit data in HPPMS processes by ANN

Bobzin, Kirsten; Kalscheuer, Christian; Möbius, Max Philip; Schulze, Christoph Franz Robert (Corresponding author)

Bristol : IOP Publ. (2023)
Buchbeitrag, Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D
Band: 56
Heft: 36
Seite(n)/Artikel-Nr.: 364001, 9 Seiten

Einrichtungen

• Internet of Production [080067]
• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]