Machine Learning unterstützte Schichtentwicklung vonPVD-Sensorschichten
Bobzin, Kirsten; Kalscheuer, Christian; Möbius, Max Philip; Janowitz, Julia (Corresponding author)
Düren : Shaker Verlag (2022)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband
In: 16. Aachener Oberflächentechnik Kolloquium / Kirsten Bobzin (Hrsg.)
Seite(n)/Artikel-Nr.: 130
Identifikationsnummern
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2023-01260