Mechanische Untersuchungen von dünnen CrAlN+C Schichten die mittels eines PVD-Hybrid-Prozesses abgeschieden worden sind

Lugscheider, Erich; Bobzin, Kirsten; Lackner, Kristijan

Dresden : EFDS (2002)
Contribution to a book

In: Industrielle Gemeinschaftsforschung 1999 - 2001 : Forschungsbericht / [Hrsg.: Europäische Forschungesellschaft Dünne Schichten e.V. Red.: Kirstin Brzezinski]
Page(s)/Article-Nr.: 13-17