From cathode to substrate : Plasma diagnostics on high power pulsed magnetron sputtering deposition of titanium nitride
Bobzin, Kirsten; Kalscheuer, Christian; Carlet, Marco; Schulze, Christoph Franz Robert (Corresponding author)
Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2022)
Fachzeitschriftenartikel
In: Thin solid films
Band: 755
Seite(n)/Artikel-Nr.: 139331
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/j.tsf.2022.139331
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2022-06713