From cathode to substrate : Plasma diagnostics on high power pulsed magnetron sputtering deposition of titanium nitride

Bobzin, Kirsten; Kalscheuer, Christian; Carlet, Marco; Schulze, Christoph Franz Robert (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2022)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 755
Seite(n)/Artikel-Nr.: 139331