Prozeßsimulation des PVD MSIP Verfahrens
Lugscheider, Erich; Barimani, Cyrus; Eckert, P.
Aachen : Mainz (1997)
Contribution to a book
In: Neue Entwicklungstrends in der Oberflächen- und Fügetechnik
Page(s)/Article-Nr.: 75-83
Institutions
- Chair of Surface Engineering [419010]
Identifier
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-096656