Hybrid reactive sputtering of transition metal aluminum oxynitrides
Bobzin, Kirsten; Kalscheuer, Christian; Carlet, Marco (Corresponding author); Schulze, Christoph Franz Robert
Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2021, 2022)
Fachzeitschriftenartikel
In: Thin solid films
Band: 742
Seite(n)/Artikel-Nr.: 139028
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/j.tsf.2021.139028
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2022-03949