Hybridprozessentwicklung zur Plasmasynthese temperaturbeständiger Kohlenstoffschichten

Bobzin, Kirsten; Nickel, Reimo; Bagcivan, Nazlim; Yilmaz, Koray

Jülich : Forschungszentrum (2009)
Fachzeitschriftenartikel

In: WING
Band: 2009

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