Pulse synchronized substrate bias for the High Power Pulsed Magnetron Sputtering deposition of CrAlN

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Engels, Martin Gottfried; Schulze, Christoph Franz Robert (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2021)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 732
Seite(n)/Artikel-Nr.: 138792

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]