Effects of the Ion to Growth Flux Ratio on the Constitution and Mechanical Properties of Cr1-x-Alx-N Thin Films

Banko, Lars; Ries, Stefan; Grochla, Dario; Arghavani, Mostafa; Salomon, Steffen; Pfetzing-Micklich, Janine; Kostka, Aleksander; Rogalla, Detlef; Schulze, Julian; Awakowicz, Peter; Ludwig, Alfred (Corresponding author)

Washington, DC : ACS (2019)
Fachzeitschriftenartikel

In: ACS combinatorial science
Band: 21
Heft: 12
Seite(n)/Artikel-Nr.: 782-793

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]