Entwicklung hybrider PVD-Prozesse zur Abscheidung nanostrukturierter, oxinitridischer Hartstoffschichten

• Development of hybrid PVD processes for the deposition of nanostructured oxinitride hard coatings

Kruppe, Nathan Christopher; Bobzin, Kirsten (Thesis advisor); Löffler, Frank (Thesis advisor)

Düren : Shaker Verlag (2020)
Book, Dissertation / PhD Thesis

In: Schriftenreihe Oberflächentechnik 60
Page(s)/Article-Nr.: XVIII, 165 Seiten : Illustrationen, Diagramme

Dissertation, RWTH Aachen University, 2019

Abstract