Entwicklung hybrider PVD-Prozesse zur Abscheidung nanostrukturierter, oxinitridischer Hartstoffschichten
- Development of hybrid PVD processes for the deposition of nanostructured oxinitride hard coatings
Kruppe, Nathan Christopher; Bobzin, Kirsten (Thesis advisor); Löffler, Frank (Thesis advisor)
Düren : Shaker Verlag (2020)
Book, Dissertation / PhD Thesis
In: Schriftenreihe Oberflächentechnik 60
Page(s)/Article-Nr.: XVIII, 165 Seiten : Illustrationen, Diagramme
Dissertation, RWTH Aachen University, 2019
Abstract
Institutions
- Chair of Surface Engineering [419010]
Identifier
- ISBN: 978-3-8440-7202-0
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2020-02807