Entwicklung hybrider PVD-Prozesse zur Abscheidung nanostrukturierter, oxinitridischer Hartstoffschichten

  • Development of hybrid PVD processes for the deposition of nanostructured oxinitride hard coatings

Kruppe, Nathan Christopher; Bobzin, Kirsten (Thesis advisor); Löffler, Frank (Thesis advisor)

Düren : Shaker Verlag (2020)
Buch, Doktorarbeit

In: Schriftenreihe Oberflächentechnik 60
Seite(n)/Artikel-Nr.: XVIII, 165 Seiten : Illustrationen, Diagramme

Dissertation, RWTH Aachen University, 2019

Kurzfassung

online nicht verfügbar

Identifikationsnummern