Incorporation of oxygen at column boundaries in (Cr,Al)ON hard coatings

Brögelmann, Tobias; Bobzin, Kirsten; Kruppe, Nathan Christopher; Carlet, Marco

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2019)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 685
Seite(n)/Artikel-Nr.: 275-281

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