Korrelation von Plasma- und Schichteigenschaften bei der reaktiven Plasmasynthese von Hartstoffschichten
- Correlation of plasma and coating properties for the reactive plasma deposition of hard coatings
Engels, Martin Gottfried; Bobzin, Kirsten (Thesis advisor); Awakowicz, Peter (Thesis advisor)
DĂĽren : Shaker Verlag (2019)
Book, Dissertation / PhD Thesis
In: Schriftenreihe Oberflächentechnik 56
Page(s)/Article-Nr.: XXI, 141 Seiten : Illustrationen, Diagramme
Dissertation, RWTH Aachen University, 2019
Abstract
Institutions
- Chair of Surface Engineering [419010]
Identifier
- ISBN: 3-8440-6794-9
- ISBN: 978-3-8440-6794-1
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2019-06780