Korrelation von Plasma- und Schichteigenschaften bei der reaktiven Plasmasynthese von Hartstoffschichten

• Correlation of plasma and coating properties for the reactive plasma deposition of hard coatings

Engels, Martin Gottfried; Bobzin, Kirsten (Thesis advisor); Awakowicz, Peter (Thesis advisor)

Düren : Shaker Verlag (2019)
Book, Dissertation / PhD Thesis

In: Schriftenreihe Oberflächentechnik 56
Page(s)/Article-Nr.: XXI, 141 Seiten : Illustrationen, Diagramme

Dissertation, RWTH Aachen University, 2019

Abstract