Korrelation von Plasma- und Schichteigenschaften bei der reaktiven Plasmasynthese von Hartstoffschichten

  • Correlation of plasma and coating properties for the reactive plasma deposition of hard coatings

Engels, Martin Gottfried; Bobzin, Kirsten (Thesis advisor); Awakowicz, Peter (Thesis advisor)

Düren : Shaker Verlag (2019)
Buch, Doktorarbeit

In: Schriftenreihe Oberflächentechnik 56
Seite(n)/Artikel-Nr.: XXI, 141 Seiten : Illustrationen, Diagramme

Dissertation, RWTH Aachen University, 2019

Kurzfassung

online nicht verfügbar

Identifikationsnummern

  • ISBN: 3-8440-6794-9
  • ISBN: 978-3-8440-6794-1
  • RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2019-06780