(Cr,Al)ON Deposited by Hybrid dcMS/HPPMS: A study on Incorporation of Oxygen

Brögelmann, Tobias; Bobzin, Kirsten; Kruppe, Nathan Christopher (Corresponding author); Carlet, Marco

Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science (2019)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface and coatings technology
Band: 369
Seite(n)/Artikel-Nr.: 238-243

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]

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