Enhanced PVD process control by online substrate temperature measurement
Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher (Corresponding author)
Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science (2018)
Fachzeitschriftenartikel
In: Surface and coatings technology
Band: 354
Seite(n)/Artikel-Nr.: 383-389
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/j.surfcoat.2018.07.096
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2018-229725