Enhanced PVD process control by online substrate temperature measurement

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science (2018)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface and coatings technology
Band: 354
Seite(n)/Artikel-Nr.: 383-389

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