Investigations on the substrate bias influence on reactive HPPMS plasmas

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Engels, Martin Gottfried (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2018)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 663
Seite(n)/Artikel-Nr.: 62-72

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]

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