In situ investigation of production processes in a large chamber scanning electron microscope

Aretz, Anke; Ehle, Lisa Christine; Häusler, André; Bobzin, Kirsten; Öte, Mehmet; Wiesner, Stefanie; Schmidt, Alexander; Gillner, Arnold; Poprawe, Reinhart; Mayer, Joachim (Corresponding author)

Amsterdam : Elsevier Science (2018)
Fachzeitschriftenartikel

In: Ultramicroscopy
Band: 193
Seite(n)/Artikel-Nr.: 151-158

Einrichtungen

  • Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie [025000]
  • Lehrstuhl für Lasertechnik [418710]
  • Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]

Identifikationsnummern

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