Einfluss der Plasmarandschicht auf die Homogenität von Hochleistungsplasma-Schichtsystemen

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Engels, Martin Gottfried (Corresponding author)

(2017)
Poster

In: 12. Aachener Oberflächentechnik-Kolloquium Aachen 2017-12-08 - 2017-12-08
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