Nitridische und oxinitridische HPPMS-Beschichtungen für den Einsatz in der Kunststoffverarbeitung (Teil 1) : Einfluss einer Sauerstoffvariation auf Schichteigenschaften von (Cr,Al)ON und Verbundeigenschaften zwischen Beschichtung und Kunststoffformenstahl

Bobzin, Kirsten; Grundmeier, Guido; Brögelmann, Tobias; de los Arcos, Teresa; Wiesing, Martin; Kruppe, Nathan Christopher (Corresponding author)

Weinheim : Wiley-VCH (2016)
Journal Article

In: Vakuum in Forschung und Praxis
Volume: 28
Issue: 6
Page(s)/Article-Nr.: 28-33