High-rate deposition of thick (Cr,Al)ON coatings by high speed physical vapor deposition

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kalscheuer, Christian; Liang, Tiancheng (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science (2017)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface and coatings technology
Band: 322
Seite(n)/Artikel-Nr.: 152-162

Identifikationsnummern