Influence of dcMS and HPPMS in a dcMS/HPPMS hybrid process on plasma and coating properties

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Engels, Martin Gottfried (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2016)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 620
Seite(n)/Artikel-Nr.: 188-196

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