Prozessfensterentwicklung zur Herstellung von dotiertem Al2O3 mittels HS-PVD-Technologie

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kalscheuer, Christian; Welters, Martin (Corresponding author)

Aachen : Shaker Verlag (2016)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband, Poster

In: 11. Aachener Oberflächentechnik-Kolloquium 2016 / Kirsten Bobzin (Hrsg.)
Seite(n)/Artikel-Nr.: 87-87

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