Analyse von nitridischen und oxynitridischen HPPMS-Beschichtungen für den Einsatz in der Kunststoffverarbeitung

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Grundmeier, Guido; de los Arcos, Teresa; Wiesing, Martin

(2015)
Conference Presentation

In: V2015, Vakuumbeschichtung & Plasmaoberflächentechnik Dresden 2015-10-12 - 2015-10-15
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