Influence of HPPMS pulse parameters on the reactive gas N2 in the deposition process of (Cr,Al)N

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Brugnara, Ricardo H.; Kruppe, Nathan Christopher; Chromy, Stephan

(2015)
Konferenzbeitrag

In: 6. International Conference on HIPIMS 2015 Braunschweig 2015-06-10 - 2015-06-11
Seite(n)/Artikel-Nr.: 15 Folien

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