Aluminum-rich HPPMS (Cr1−xAlx)N coatings deposited with different target compositions and at various pulse lengths

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Brugnara, R. H. (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science (2015)
Fachzeitschriftenartikel

In: Vacuum : surface engineering, surface instrumentation & vacuum technology
Band: 122
Heft: Part A
Seite(n)/Artikel-Nr.: 201-207

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]