Analysis of ion energy distribution at the substrate during a HPPMS (Cr,Al)N process using retarding field energy analyzer and energy resolved mass spectrometer

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Brugnara, Ricardo H.; Chromy, S. (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2015)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 596
Seite(n)/Artikel-Nr.: 140-146

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