Verformungsverhalten nanostrukturierter HPPMS-Hartstoffschichten

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Arghavani, Mostafa (Corresponding author)

Weinheim : Wiley-VCH (2016)
Journal Article

In: Vakuum in Forschung und Praxis
Volume: 28
Issue: 3
Page(s)/Article-Nr.: 18-25