Simulative und plasmadiagnostische Untersuchungen des Magnetron Sputterns

Parkot, Daniel; Bobzin, Kirsten (Thesis advisor)

Aachen : Shaker (2011)
Doktorarbeit

In: Schriftenreihe Oberflächentechnik 21
Seite(n)/Artikel-Nr.: XVI, 159 S. : Ill., graph. Darst.

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]