Gepulste Abscheidung von (Cr,Al)N PVD-Niedertemperaturschichtsystemen für Hochleistungsbauteile

Maes, Michael; Lugscheider, Erich (Thesis advisor)

Aachen : Shaker (2007)
Dissertation / PhD Thesis

In: Schriftenreihe Oberflächentechnik 7
Page(s)/Article-Nr.: 108 S. : Ill., graph. Darst.

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006