High Power Puls Magnetron Sputtering (HPPMS) Schichtsynthese und Prozessverständnis : SFB-TR 87 A1 - DFG TRR 87/2, 01.07.2014 - 30.06.2018

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher (Corresponding author)

Aachen : Shaker Verlag (2015)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband, Poster

In: 10. Aachener Oberflächentechnik Kolloquium 2015 / Kirsten Bobzin (Hrsg.)
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Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]