Hochleistungsplasmen zur Synthese diamantähnlicher Kohlenstoffschichten : Einfluss verschiedener Prozessgase und HPPMS-Pulsparameter auf die Plasmaeigenschaften

• HPPMS high-performance plasmas for the deposition of diamond-like carbon coatings Diamond-like carbon (DLC) coatings

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Bastürk, Serhan; Engels, Martin Gottfried (Corresponding author)

Weinheim : Wiley-VCH (2015)
Fachzeitschriftenartikel

In: Vakuum in Forschung und Praxis
Band: 27
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 22-28

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]