Einblicke in die PVD- und CVD- Technologie
Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Bastürk, Serhan; Engels, Martin Gottfried
Aachen : Institut für Oberflächentechnik, RWTH Aachen University (2015)
Talk (non-conference)
In: PVD-CVD-Seminar 2015 Aachen 2015-05-20 - 2015-05-20
Page(s)/Article-Nr.: 54 Folien
Institutions
- Chair of Surface Engineering [419010]
Identifier
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2015-03777