Einblicke in die PVD- und CVD- Technologie

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Bastürk, Serhan; Engels, Martin Gottfried

Aachen : Institut für Oberflächentechnik, RWTH Aachen University (2015)
Talk (non-conference)

In: PVD-CVD-Seminar 2015 Aachen 2015-05-20 - 2015-05-20
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