Einblicke in die PVD- und CVD-Technologie

Engels, Martin Gottfried; Bobzin, Kirsten; Bagcivan, Nazlim; Bastürk, Serhan

(2014)
Konferenzbeitrag

In: RWTH Seminar: PVD-CVD-Seminar 2014 Aachen 2014-05-21 - 2014-05-21
Seite(n)/Artikel-Nr.: 54 Folien

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]