Einsatzgebiete und Potentiale dünner Schichten
Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias
(2014)
Konferenzbeitrag
In: RWTH Seminar: PVD-CVD-Seminar 2014 Aachen
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2015-03747