Einblicke in die PVD- und CVD-Technologie
Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Bagcivan, Nazlim
(2013)
Konferenzbeitrag
In: RWTH Seminar: PVD-CVD-Seminar Aachen 2013-06-12 - 2013-06-12
Seite(n)/Artikel-Nr.: 54 Folien
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2015-03743