CrN/AlN nanolaminate coatings deposited via high power pulsed and middle frequency pulsed magnetron sputtering

Bagcivan, N.; Bobzin, Kirsten; Ludwig, A.; Grochla, D.; Brugnara, R. H. (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2014)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 572
Seite(n)/Artikel-Nr.: 153-160

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]