(Cr1-xAlx)N : A comparison of direct current, middle frequency pulsed and high power pulsed magnetron sputtering for injection molding components

Bagcivan, Nazlim; Bobzin, Kirsten; Theiß, Sebastian (Corresponding author)

Amsterdam Elsevier : [u.a.] (2013)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 528
Seite(n)/Artikel-Nr.: 180-186

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]