Comparison of (Cr0.75Al0.25)N Coatings Deposited by Conventional and High Power Pulsed Magnetron Sputtering
Bobzin, Kirsten; Bagcivan, Nazlim; Theiß, Sebastian
Weinheim : Wiley-VCH (2012)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel
In: Contributions to plasma physics : CPP
Band: 52
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 601-606
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1002/ctpp.201210056
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-069108