Comparison of (Cr0.75Al0.25)N Coatings Deposited by Conventional and High Power Pulsed Magnetron Sputtering

Bobzin, Kirsten; Bagcivan, Nazlim; Theiß, Sebastian

Weinheim : Wiley-VCH (2012)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Contributions to plasma physics : CPP
Band: 52
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 601-606

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