Plasma diagnostics as a tool for the modeling and simulation of sputter processes

Lugscheider, Erich; Papenfuss-Janzen, Norbert

Lausanne : Elsevier Sequoia (2004)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 177-178
Seite(n)/Artikel-Nr.: 597-602

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