Plasma diagnostics as a tool for the modeling and simulation of sputter processes

Lugscheider, Erich; Papenfuss-Janzen, Norbert

Lausanne : Elsevier Sequoia (2004)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 177-178
Seite(n)/Artikel-Nr.: 597-602

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]