Time resolved optical emission spectroscopy of an HPPMS coating process

Theiß, Sebastian; Bibinov, Nikita; Bagcivan, Nazlim; Ewering, Mara Therese; Awakowicz, Peter; Bobzin, Kirsten

Bristol : IOP (2010)
Abstract, Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of physics / D, Applied physics
Band: 43
Heft: 7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 8-8

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