Understanding HPPMS PVD

Theiß, Sebastian; Bibinov, N.; Bagcivan, Nazlim; Ewering, Mara Therese; Awakowicz, Peter; Bobzin, Kirsten

Les Ulis : EDP Sciences (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Europhysics news
Band: 41
Heft: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 14-15

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]