Understanding HPPMS PVD

Theiß, Sebastian; Bibinov, N.; Bagcivan, Nazlim; Ewering, Mara Therese; Awakowicz, Peter; Bobzin, Kirsten

Les Ulis : EDP Sciences (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Europhysics news
Band: 41
Heft: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 14-15

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