Impact behavior of (Ti,Al,Si)N deposited by HPPMS

Bobzin, Kirsten; Bagcivan, Nazlim; Ewering, Mara Therese; Theiß, Sebastian; Bolz, Stephan Frédéric

Amsterdam [u.a.] ; Jena : Elsevier (2009)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 518
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: H2-2-7

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