Herstellung eines Mikroaktors auf der Basis lasergestützter Strukturierung von PVD-abgeschiedenen Bimetallstrukturen

Lugscheider, Erich; Bobzin, Kirsten; Erdle, Anja; Horn, A.; Pütz, U.; Kreutz, E. W.; Poprawa, R.

Saulgau : Leuze (2004)
Journal Article

In: Produktion von Leiterplatten und Systemen : PLUS
Volume: 6
Issue: 5