Herstellung eines Mikroaktors auf der Basis lasergestützter Strukturierung von PVD-abgeschiedenen Bimetallstrukturen
Lugscheider, Erich; Bobzin, Kirsten; Erdle, Anja; Horn, A.; Pütz, U.; Kreutz, E. W.; Poprawa, R.
Saulgau : Leuze (2004)
Journal Article
In: Produktion von Leiterplatten und Systemen : PLUS
Volume: 6
Issue: 5
Institutions
- Chair of Surface Engineering [419010]
Identifier
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-101198