Herstellung eines Mikroaktors auf der Basis lasergestützter Strukturierung von PVD-abgeschiedenen Bimetallstrukturen

Lugscheider, Erich; Bobzin, Kirsten; Erdle, Anja; Horn, A.; Pütz, U.; Kreutz, E. W.; Poprawa, R.

Saulgau : Leuze (2004)
Fachzeitschriftenartikel

In: Produktion von Leiterplatten und Systemen : PLUS
Band: 6
Heft: 5

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]