Advancement in low melting solder deposition by pulsed magnetron sputter-PVD process for microsystemtechnology

Lugscheider, Erich; Bobzin, Kirsten; Maes, Michael; Ferrara, Stefania; Erdle, Anja

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2005)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 200.2005
Heft: 1/4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 444-447

Identifikationsnummern